Interpretieren der wichtigsten Ergebnisse für Waferplot

Führen Sie die folgenden Schritte aus, um ein Waferdiagramm zu interpretieren.

Schritt 1: Suchen nach Extremwerten

Suchen Sie nach Rechtecken, deren Farbe sich von den umgebenden Rechtecken unterscheidet, um zu bestimmen, welche Koordinaten die höchsten Werte der ausgewählten Funktion aufweisen, welche Koordinaten die niedrigsten oder beides.

In diesem Beispiel weist das Rechteck mit einer Y-Koordinate von -20 und einer X-Koordinate von 7 einen hohen Fehlerwert im Vergleich zu den umgebenden Rechtecken auf.

Schritt 2: Suchen nach Mustern in den Daten

Suchen Sie nach bestimmten Bereichen im Wafer-Diagramm, die eine hohe Konzentration von Extremwerten für die Antwortvariable aufweisen.

Dieses Waferdiagramm zeigt beispielsweise die Anzahl der Defekte auf Dies auf Halbleiterwafern für 5 verschiedene Chargen. Los 5 weist eine große Anzahl von Fehlern auf, insbesondere Matrizen mit sehr hohen und sehr niedrigen Y-Koordinatenwerten. Sie entscheiden sich, diese Matrizen nicht zur Herstellung von Halbleitern zu verwenden.