Beispiel für Waferplot

Ein Hersteller von Halbleitern möchte dies auf Halbleiterwafern aus 5 verschiedenen Chargen prüfen. Sie geben jedem Würfel eine X- und Y-Koordinate und untersuchen dann die Anzahl der Defekte auf jedem Würfel.

  1. Öffnen Sie die Beispieldaten Halbleitern.MWX.
  2. Wählen Sie Grafikerstellung > Grafik dann aus der Liste der Diagramme aus Waferplot.
  3. Geben Sie im Feld X-Koordinaten die Spalte X ein. Geben Sie im Feld Y-Koordinaten die Spalte Y ein.
  4. Geben Sie im Feld Antwortvariable die Spalte Mängel ein.
  5. Geben Sie Viel in Nach Variable ein. Wählen Sie unter Layout die Option In separaten Feldern einer Grafik aus.
  6. Wählen Sie Erstellen aus.

Interpretieren der Ergebnisse

Der Hersteller prüft den Waferplot auf Bereiche, die eine hohe Anzahl von Defekten aufweisen. Los 5 weist eine große Anzahl von Fehlern auf, insbesondere Matrizen mit sehr hohen und sehr niedrigen Y-Koordinatenwerten. Der Hersteller beschließt, diese Dies nicht zur Herstellung von Halbleitern zu verwenden.