对于变量抽样计划,每个抽样计划只能检验一个测量值。例如,如果需要检验晶圆厚度和晶圆宽度,则需要两个单独的抽样计划。
在这些结果中,标准差大于最大标准差。Z.LSL 和 Z.USL 值小于临界距离。制造商拒收该批次。
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