对于变量抽样计划,每个抽样计划只能检验一个测量值。例如,如果需要检验晶圆厚度和晶圆宽度,则需要两个单独的抽样计划。
样本数量 | 259 |
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均值 | 0.403108 |
标准差 | 0.0469204 |
规格下限 (LSL) | 0.395 |
规格上限 (USL) | 0.415 |
规格下限 Z 值 | 0.172803 |
规格上限 Z 值 | 0.253452 |
临界距离(k 值): | 3.44914 |
最大标准差 (MSD) | 0.0027595 |
在这些结果中,标准差大于最大标准差。Z.LSL 和 Z.USL 值小于临界距离。制造商拒收该批次。