解释Wafer 图的主要结果

请完成以下步骤来解释晶圆图。

步骤 1:查找极值

查找颜色与其周围的矩形颜色不同的矩形,以确定哪些坐标具有所选函数的最高值,哪些坐标具有最低值,或两者兼而有之。

在此示例中,Y 坐标为 -20 且 X 坐标为 7 的矩形与其周围的矩形相比,其缺陷值较高。

步骤 2:在数据中查找模式

在晶圆图中查找响应变量极值浓度较高的特定区域。

例如,此晶圆图显示了 5 个不同批次的半导体晶圆上晶粒上的缺陷数。批次 5 有大量的缺陷,特别是 Y 坐标值非常高和非常低的模具。您决定不使用这些芯片来制造半导体。