다음 단계를 완료하여 웨이퍼 플롯을 해석합니다.
이 항목의 내용
1단계: 극단값 찾기
사각형 주위의 사각형과 색이 다른 사각형을 찾아 선택한 함수의 값이 가장 높은 좌표, 가장 낮은 좌표 또는 둘 다를 확인합니다.
이 예에서 Y 좌표가 -20이고 X 좌표가 7인 사각형은 주변 사각형에 비해 결함 값이 높습니다.
2단계: 데이터에서 패턴 찾기
웨이퍼 플롯에서 반응 변수에 대한 극단값이 많이 집중되어 있는 특정 영역을 찾습니다.
예를 들어, 이 웨이퍼 플롯은 5개의 서로 다른 로트에 대한 반도체 웨이퍼의 다이에 있는 결함 수를 보여줍니다. Lot 5에는 많은 수의 결함이 있으며, 특히 Y 좌표 값이 매우 높거나 매우 낮은 다이가 있습니다. 이 다이를 사용하여 반도체를 만들지 않기로 결정했습니다.
