変数受入サンプリング計画を作成し、入荷するロットごとにサンプルサイズと合格基準を決定したあと、サンプルから測定データを分析して、製品全体のロットの合格・不合格を判断することができます。計画のサンプルサイズに従ってサンプルを収集し、厚さ、濃度、表面粗度などの1つの測定特性の測定値を記録してください。Minitabでは、特定ロットからのデータとサンプリング計画の情報を使用してロットの判定値を決定します。
注
変数サンプリング計画では、1つのサンプリング計画につき1つの測定しか調べることができません。たとえば、ウェーハの厚さと幅を検査する必要がある場合は、2つのサンプリング計画が必要になります。
メーカーは、以下の3つの条件を満たすロットを合格にします。
- 標準偏差は最大標準偏差より小さいです。
- Z.LSLは限界距離以上です。
- Z.USLは限界距離以上です。