次の手順を実行して、ウェーハプロットを解釈します。
このトピックの内容
ステップ1：極値を探す
a 色が周囲の四角形と異なる四角形を探して、選択した関数の値が最も高い座標、最も低い座標、またはその両方を判断します。
この例では、Y座標が-20、X座標が7の長方形は、周囲の長方形に比べて欠陥値が高くなっています。
ステップ2：データのパターンを探す
ウェーハプロットで、応答変数の極値が高濃度である特定の領域を探します。
たとえば、このウェーハプロットは、5つの異なるロットの半導体ウェーハ上のダイ上の欠陥の数を示しています。ロット5には多数の欠陥があり、特にY座標値が非常に高いダイと非常に低いダイがあります。これらのダイを半導体の作成に使用しないことに決めました。
