ウェハー プロットを作成するには、[ ] を選択し、グラフのリストから [ ウエハープロット ] を選択します。次に、次の手順を実行して、グラフのデータを指定します。
- Y座標では、ウェーハプロットのy軸を表すデータを含む数値列。
- X座標に、ウェーハプロットのx軸を表すデータを含む数値列を入力します。
- 応答変数に、ウェーハ プロットの座標の色のグラデーションを定義する数値列を入力します。
- 関数から、応答変数の関数を選択します。たとえば、「 最大」を選択した場合、Minitabでは、各座標の応答変数の最大値に基づいて、ウェーハプロットの色のグラデーションが定義されます。一部のオプションでは、追加の値を入力する必要があります。詳細は、関数を選択するを参照してください。
このワークシートでは、 X がX座標、 Y がY座標です。ウェーハプロットは、座標の各組み合わせの 欠陥数 の平均を示しています。
| C1 | C2 | C3 |
|---|---|---|
| X | Y | 欠陥 |
| -21 | -4 | 0 |
| -21 | -3 | 1 |
| -21 | -2 | 0 |
| ... | ... | ... |
