ある半導体メーカーは、5つの異なるロットの半導体ウェーハ上のダイを検査したいと考えています。各ダイにX座標とY座標を付け、各ダイの欠陥数を検査します。
- サンプルデータ、半導体.MWXを開きます。
- [ ] を選択し、グラフのリストから [ ウエハープロット ] を選択します。
- X座標にXを入力します。Y座標にYを入力します。
- 応答変数に欠陥数を入力します。
- グループ変数 に「 ロッ」と入力します。 [レイアウト]から [ 同じグラフウィンドウ内にグラフを表示] を選択します。
- [作成]を選択します
結果を解釈する
製造業者は、ウェーハプロットで、多数の欠陥を含む領域を検査します。ロット5には多数の欠陥があり、特にY座標値が非常に高いダイと非常に低いダイがあります。メーカーは、これらのダイを半導体の製造に使用しないことを決定しています。
