Exemple de Diagramme de wafer

Un fabricant de semi-conducteurs souhaite inspecter des matrices sur des plaquettes de semi-conducteurs de 5 lots différents. Ils donnent à chaque matrice une coordonnée X et Y, puis ils inspectent le nombre de défauts sur chaque matrice.

  1. Ouvrez les données d’échantillonnage, Semiconducteurs.MWX.
  2. Choisissez Graphique > Générateur de graphiques , puis sélectionnez-le Diagramme de wafer dans la liste des graphiques.
  3. Dans Coordonnées X, saisissez X. Dans Coordonnées Y, saisissez Y.
  4. Dans Variable de réponse, saisissez Défauts.
  5. Dans Variable de répartition , entrez Lot. Dans Modèle, sélectionnez Dans des panneaux distincts d'un graphique.
  6. Sélectionnez Créer.

Interpréter les résultats

Le fabricant inspecte le tracé des plaquettes à la recherche de zones contenant un grand nombre de défauts. Le lot 5 présente un grand nombre de défauts, en particulier des matrices avec des valeurs de coordonnées Y très élevées et très faibles. Le fabricant décide de ne pas utiliser ces matrices pour produire des semi-conducteurs.