Ein Hersteller von Halbleitern möchte dies auf Halbleiterwafern aus 5 verschiedenen Chargen prüfen. Sie geben jedem Würfel eine X- und Y-Koordinate und untersuchen dann die Anzahl der Defekte auf jedem Würfel.
Mit diesen Daten können Sie das Verfahren Waferplot veranschaulichen.
Arbeitsblattspalte | Beschreibung |
---|---|
Viel | Die Chargennummer des Halbleiters. |
X | Die X-Koordinate des Halbleiters. |
Y | Die Y-Koordinate des Halbleiters. |
Mängel | Die Anzahl der Defekte auf dem Halbleiter. |